Патент №2431882 - Способ изготовления liga-шаблона

Изобретение относится к LIGA-технологии. Заявленный способ изготовления LIGA-шаблона характеризуется тем, что исходную подложку изготавливают из бериллиевой фольги, на рабочей поверхности подложки создают буферный (защитный) слой из проэкспонированного и задубленного негативного фоторезиста SU-8. Технический результат - обеспечение высокого уровня контрастности и рентгенопрозрачности. 3 ил.