Патент №2432417 - Устройство для напыления в вакууме тонких слоев многослойных изделий

Изобретение относится к области производства электронных компонентов и может быть использовано, в частности, в микроэлектронике для совмещения ферромагнитных свободных масок при формировании прецизионного топологического рисунка тонких пленок органики, металлов и диэлектриков, напыляемых на пластины в вакууме. Устройство включает маску из ферромагнитного материала 8, располагаемую с лицевой стороны подложки 3, и магнит 4 с плоской верхней поверхностью, располагаемый с противоположной по отношению к маске 8 стороны подложки 3. Кроме того, устройство содержит корпус 1 с плоской верхней поверхностью и плоским гнездом 2 для подложки 3, глубина которого выполнена такой, чтобы нижняя поверхность маски 8, верхняя поверхность подложки 3 и верхняя плоская поверхность корпуса 1 были расположены в одной плоскости. Дно плоского гнезда 2 образовано плоской верхней поверхностью магнита 4. На боковых поверхностях плоского гнезда 2 по периметру выполнены упоры 5 и расположенные с противоположных сторон прижимные винты 6, фиксирующие положение подложки 3 в гнезде 2. На верхней плоской поверхности корпус 1 имеет выступы 7, фиксирующие положение маски 8, которая имеет посадочные отверстия 9 под выступы 7. Технический результат - обеспечение смены ферромагнитных масок без разборки всего пакета и снятия магнита. 2 ил.