Патент №2446506 - Ячейка с автоэлектронной эмиссией и способ ее изготовления

Изобретение относится к области электронной техники, в частности к автоэлектронным катодам, и может быть использовано в производстве плоских дисплеев. Технический результат - обеспечение активизации существующих и образование дополнительных центров автоэмиссии на проводящих наноструктурных частицах эмиттерного слоя, уменьшение интенсивности нагружения эмиттируемых наноразмерных структур. Достигается тем, что в ячейке с автоэлектронной эмиссией, содержащей две диэлектрические пластины, на одной из двух диэлектрических пластин выполнены, по крайней мере, один катодный электрод с эмиттерным слоем, включающим наноразмерные токопроводящие структуры, один управляющий электрод, эмиттерный слой выполнен в виде гетерогенной структуры, при этом гетерогенная структура выполнена в виде дополнительных концентраторов электрического поля в виде внедренных нано- и/или микроразмерных частиц диэлектрического материала в совокупности с наноразмерными токопроводящими структурами эмиттерного слоя, причем в гетерогенной структуре выполнены наноразмерные зазоры между поверхностями наноразмерных токопроводящих структур и частицами диэлектрического материала. Кроме того, частицы диэлектрического материала выполнены в виде структуры островкового типа. В способе изготовления ячейки с автоэлектронной эмиссией, включающем нанесение на одной из двух диэлектрических пластин, по крайней мере, одного катодного электрода с эмиттерным слоем, нанесение на эмиттерный слой наноразмерной токопроводящей структуры, формирование одного управляющего электрода, осуществляют смешивание наноразмерных токопроводящих структур и частиц диэлектрического материала в определенной пропорции, затем проводят послойное электрофоретическое высаживание наноразмерных токопроводящих структур и частиц диэлектрического материала. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 2 ил.