Патент №2447190 - Способ получения фотокаталитически активного покрытия

Способ получения фотокаталитически активного покрытия относится к технологии получения указанных покрытий методом магнетронного реактивного распыления. Способ включает нанесение покрытия из диоксида титана на изделие методом магнетронного реактивного распыления на постоянном токе титановой мишени в смеси аргона и кислорода. Распыление мишени осуществляют при суммарном парциальном давлении смеси 0,8-1,2 Па, при соотношении аргона и кислорода в смеси 2/1, плотности тока на титановой мишени 1,7-3,5 А/мм 2 и расстоянии от мишени до подложки 30-80 мм. Получается покрытие с супергидрофильными свойствами. 7 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 пр.

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/35Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - с использованием магнитного поля, например распыление магнетроном