Патент №2457178 - Способ получения высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния

Изобретение относится к технологии неорганических соединений. Способ получения высокочистого моносилана и тетрахлорида кремния проводят двухстадийным диспропорционированием хлорсиланов на анионообменной смоле. На первой стадии проводят диспропорционирование трихлорсилана, предварительно очищенного от тетрахлорида кремния в первой ректификационной колонне, с получением преимущественно дихлорсилана и тетрахлорида кремния. Выводят тетрахлорид кремния в качестве товарного продукта из куба первой ректификационной колонны и отделяют дихлорсилан во второй ректификационной колонне от непрореагировавшего трихлорсилана и тетрахлорида кремния. На второй стадии проводят диспропорционирование дихлорсилана, с отделением моносилана в третьей ректификационной колонне от хлорсиланов. Причем в первый реактор подают только дистиллят из первой ректификационной колонны, не содержащий тетрахлорид кремния. После выделения моносилана проводят его очистку от низкокипящих примесей в отдувочной ректификационной колонне. Затем очистку от соединений с температурой кипения выше, чем у моносилана, но ниже, чем у монохлорсилана, в пятой ректификационной колонне. Обеспечивается высокая степень конверсии трихлорсилана и получение продукта с содержанием основного вещества не менее 99,99%. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 пр.

Патент №2457178, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК C01B 33/04Кремний; его соединения - кремневодородные соединения
МПК C01B 33/107Кремний; его соединения - галогензамещенные силаны