Патент №2459310 - Способ анализа заряженных частиц по энергиям и массам и устройство для его осуществления

Изобретение относится к способам и устройствам, обеспечивающим анализ потоков заряженных частиц по энергиям и массам с помощью электромагнитных полей, и может быть использовано при изучении поверхностей твердых тел, для определения элементного или изотопного состава плазмы рабочего вещества. Технический результат изобретения - расширение функциональных возможностей энерго-масс-анализаторов заряженных частиц - достигается тем, что анализ по энергиям и массам ведут в совмещенных радиальных электрическом поле энергоанализатора Юза-Рожанского и магнитном поле фильтра Вина и поперечном к ним продольном электрическом поле фильтра Вина, энергоанализатор Юза-Рожанского и фильтр Вина совмещены в одной конструкции, при этом фильтр Вина выполнен цилиндрическим. Детектор ионов и расстояние между цилиндрическими пластинами определяются условиями фокусировки целевых ионов. 2 н.п. ф-лы, 4 ил.