Патент №2469369 - Рентгенолитографический шаблон и способ его изготовления

Использование: для изготовления рентгенолитографических шаблонов. Сущность заключается в том, что при изготовлении рентгенолитографического шаблона осуществляют процессы формирования резистивной маски на рабочей поверхности исходной электропроводящей (или содержащей электропроводящие слои) подложки, процессы электроосаждения металлического рентгенопоглощающего слоя, при этом исходную подложку выполняют состоящей из двух деталей, выполненных из разных материалов: опорного кольца и внутреннего диска, который полностью удаляется селективным травлением на последних этапах изготовления шаблона. Технический результат: повышение контрастности и рентгенопрозрачности рентгенолитографического шаблона. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 3 ил.