Патент №2489693 - Способ изготовления тонкопленочного датчика давления

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений. При изготовлении тонкопленочного датчика давления формирование тензоэлементов проводят с использованием шаблона тензочувствительного слоя, имеющего конфигурацию тензоэлементов в зонах, совмещаемых с низкоомными перемычками и контактными площадками, в виде полос, включающих изображения тензоэлементов и их продолжения в два противоположных направления. В зонах, совмещаемых с контактными площадками, шаблон имеет конфигурацию, частично совпадающую с конфигурацией контактных площадок и удаленных от полос участков. Присоединяют выводные проводники к контактным площадкам в областях, удаленных от полос участков. Изготавливают контакты гермовыводов или их части, расположенные симметрично их продольным осям и контактирующие с выводными проводниками и проводами, соединяющими гермовыводы с внешней измерительной схемой, из материала с максимально возможным высоким коэффициентом теплопроводности, имеющего минимально возможную разность коэффициентов термоэдс с материалами выводных проводников и проводами. Облуживают контакты высокотемпературным припоем, а затем вклеивают их в корпус гермопроходника при помощи полимерного материала, пропитывают его после полной полимеризации анаэробным герметиком и присоединяют выводные проводники к контактам гермовыводов с использованием односторонней контактной сварки-пайки сдвоенным электродом. 1 з.п. ф-лы.

Патент №2489693, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК G01L 9/00Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению; передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств