Патенты автора — Беляев Я.В.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 4, получены - 2005-2008
- G01 – Измерение
- Микромеханический гироскоп вибрационного типа
Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. ММГ содержит опору на основании, к которой на резонансном подвесе подвешена проводящая подвижная масса. Две пары...
- Микромеханический гироскоп
Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. ММГ содержит основание из кремния с установленными на нем через изолирующие слои статорами и опорой, на которой с...
- Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации
Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления. Способ предназначен для микромеханических устройств, содержащих подвижную массу (ПМ), электростатический задатчик силы...
- Микромеханический гироскоп
Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа. Микромеханический гироскоп содержит подвижную массу, систему измерения перемещений подвижной массы, которая включает в себя...