Патенты автора — Корляков А.В.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 16, получены - 1998-2008
- A61 – Медицина и ветеринария; гигиена
- G01 – Измерение
- G03 – Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
- H04 – Техника электрической связи
- Оптический микрофон и способ изготовления его звукочувствительной мембраны
Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и микротехнологии и может быть использовано в конструкции микроминиатюрных приемников акустических сигналов специального назначения. Техническим результатом изобретения является повышение...
- Чувствительный элемент мембранного типа и способ его изготовления
Изобретение предназначено для использования в конструкции и технологии производства широкого класса микроэлектронных приборов. Чувствительный элемент (ЧЭ) содержит подложку из монокристаллического кремния, двухслойную мембрану, включающую слой Si 3N4 и...
- Термоизмерительная система и способ изготовления информационной микросхемы для термоизмерительной системы
Использование: в конструировании и технологии теплоизмерительных приборов индикации экстремальных температурных условий функционирования объектов. Техническим результатом изобретения является повышение информативности и чувствительности целевого...
- Перфорированная мембрана для чувствительного элемента микромеханического прибора
Использование: в микроэлектронном приборостроении, при конструировании чувствительного элемента микромеханического прибора. Сущность изобретения: мембрана чувствительного элемента микромеханического прибора перфорирована сквозными отверстиями с...
- Чувствительный элемент мембранного типа
Изобретение относится к микроэлектронному приборостроению и может быть использовано в конструкции широкого класса микроэлектронных приборов, оснащенных чувствительным элементом мембранного типа, - датчиков давления и температуры, акселерометров...
- Способ изготовления микрочипного устройства на основе фоторезиста
Изобретение относится к микротехнологии. Предложен способ изготовления микрочипного устройства на основе фоторезиста, предусматривающий нанесение многослойного фоторезиста на подложку, микропрофилирование в нем рельефа функциональных элементов и...
- Микроэлектронная структура на основе "кремний-диэлектрик" для изготовления полупроводниковых приборов и способ ее получения
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении микроактюаторов, микрофонов, полевых транзисторов, электретных элементов и др. Технический результат изобретения - обеспечение высокой надежности и электрической...
- Полупроводниковый термомеханический микроактюатор
Изобретение относится к микроэлектронному приборостроению и касается конструкции полупроводникового термомеханического микроактюатора. Технический результат - упрощение конструкции и обеспечение надежной работы в экстремальных условиях по температуре,...
- Способ микропрофилирования композиции "sic-aln"
Использование: при изготовлении микромеханических приборов и микроэлектронных устройств из сэндвич-структуры "SiC-AlN" на подложке. Сущность изобретения: способ предусматривает плазмохимическое вытравливание с использованием маскирующего покрытия...
- Микрореактор для химического и генетического тестирования
Изобретение относится к прикладной физике и химии и может быть использовано в конструкции интегрированной микрочиповой системы для тестирования. Предложен микрореактор, содержащий кремниевый микрочип, проточную реакционную камеру, микрофлюидную систему...