Патент №2247442 - Термоизмерительная система и способ изготовления информационной микросхемы для термоизмерительной системы

Использование: в конструировании и технологии теплоизмерительных приборов индикации экстремальных температурных условий функционирования объектов. Техническим результатом изобретения является повышение информативности и чувствительности целевого изделия, а также его миниатюризация. Сущность изобретения: Термоизмерительная система содержит информационную микросхему и внешнюю измерительную цепь (ВИЦ). ИМ включает основание, прикрепленные к основанию малоинерционный и инерционный термочувствительные элементы (ТЧЭ) на основе терморезисторов, смонтированных на подложке из твердого тела с возможностью измерения температуры среды и стенки контролируемого помещения соответственно, и электрические выводы для подключения ТЧЭ к ВИЦ. ВИЦ оснащена блоком сравнения и блоком индикации. Малоинерционный ТЧЭ подключен к первому входу блока сравнения, а инерционный - ко второму входу блока сравнения. В качестве подложки использован полупроводниковый материал. Во ВИЦ дополнительно установлены сумматор и первый и второй усилители-преобразователи. Малоинерционный ТЧЭ подключен к первому входу блока сравнения и к первому входу сумматора через первый усилитель-преобразователь. Инерционный ТЧЭ подключен ко второму входу блока сравнения через второй усилитель-преобразователь. Выход блока сравнения подключен ко второму входу сумматора, а выход сумматора связан с входом блока индикации непосредственно или через коммутатор. Способ изготовления ИМ предусматривает формирование терморезисторов малоинерционного и инерционного ТЧЭ на подложке из твердого тела, прикрепление ТЧЭ к основанию ИМ и присоединение к электрическим выводам подключения к ВИЦ. Терморезисторы формируют нанесением терморезиставного слоя на подложку из полупроводникового материала с последующим микропрофилированием. Выполняют металлизированные контактные площадки и их подключения к соответствующим ТЧЭ. Участок подложки по месту малоинерционного ТЧЭ удаляют или вытравливают в нем глухое отверстие, а контактные площадки присоединяют к электрическим выводам, вмонтированным в основание ИМ. 2 с. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.