Патенты автора — Коротков М.Л.
Страна - Россия (RU), количество патентов - 2, получены - 1991-1992
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
№ | Компания | Патенты |
---|---|---|
1 | НИИ точного машиностроения | 2 |
- Устройство осаждения слоев из газовой фазы
Использование: для термического отжига пластин в различных газовых средах, осаждение диэлектрических слоев и эпитаксиальных слоев кремния в технологии производства полупроводников и микроэлектронике. Сущность изобретения: устройство содержит кварцевый...
- Устройство осаждения слоев из газовой фазы
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии производства полупроводниковых приборов и ИС. Сущность изобретения: устройство содержит реакционный блок, включающий кварцевый реактор с излучателем, корпус с...