Патенты автора — ДАС Палаш П.
Страна - США (US), количество патентов - 3, получены - 1999-2002
- H01 – Основные элементы электрического оборудования
| № | Компания | Патенты |
|---|---|---|
| 1 | САЙМЕР, ИНК. | 3 |
- Система очень узкополосного двухкамерного газоразрядного лазера с высокой частотой следования импульсов
Изобретение относится к электрогазоразрядным лазерам, в частности к узкополосным газоразрядным лазерам с высокой частотой следования импульсов. Конструкция имеет две отдельные разрядные камеры, одна из которых является частью задающего генератора,...
- Лазерный литографический источник света с доставкой пучка
Система очень узкополосного двухкамерного газоразрядного лазера с высокой частотой следования содержит две отдельные разрядные камеры, одна из которых является частью задающего генератора, формирующего очень узкополосный посылаемый пучок, который с...
- Узкополосный эксимерный лазер на фториде криптона (krf) для промышленного применения, имеющий высокую надежность и модульную конструкцию
Изобретение относится к лазерной технике, а именно - к лазерам, используемым для долговременной круглосуточной работы при производстве интегральных микросхем способом литографии. Усовершенствования заключаются в наличии в нем одиночной трубки...