МПК H01F 41/30 – Способы и устройства для изготовления и сборки приборов, отнесенных к данному подклассу - для нанесения наноструктур, например посредством молекулярно-пучковой эпитаксии (MBE)
Патенты в категории:
- Способ формирования эпитаксиальных пленок кобальта на поверхности полупроводниковых подложек
Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к методам создания ультратонких магнитных эпитаксиальных пленок на полупроводниковых подложках, и может быть использовано при создании твердотельных электронных приборов. Сущность изобретения:...