МПК H01J 29/84 – Элементы конструкции электронно-лучевых трубок, отнесенных к группе 31/00 - ловушки для удаления или отклонения нежелательных частиц, например отрицательных ионов, краевых электронов; устройства для разделения по скорости или массеспектрометры элементарных частиц или разделительные трубки 49/00
Патенты в категории:
- Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц
Изобретение относится к плазменным технологиям нанесения пленочных покрытий и предназначено для очистки плазменного потока дуговых испарителей от микрокапельной фракции. Устройство содержит корпус 1, установленную в нем жалюзийную систему вложенных...