МПК H01J 41/20 – Разрядные приборы и соединенные с ними средства, предназначенные для измерения давления газа - с использованием газопоглотительных сорбционных материалов, т.е. геттеров
Патенты в категории:
- Комбинированная насосная система, содержащая геттерный насос и ионный насос
Предложена комбинированная насосная система (10), содержащая геттерный насос (12) и ионный насос (13), обеспечивающая создание сверхвысокого вакуума. Геттерный и ионный насосы (12, 13) установлены на одном и том же фланце (11) и расположены на одной и...