Патент №2008298 - Способ пропитки кремнием полых изделий из пористого материала, содержащего карбид кремния и/или углерод, и устройство для его осуществления

Изобретение относится к производству огнеупорных изделий на основе карбида кремния и/или углерода для полупроводниковой технологии, в частности для оснастки в спецтехнологии. Сущность изобретения: полые пористые изделия, содержащие карбид кремния или углерод, пропитывают расплавом кремния, подаваемым через элемент с капиллярной структурой, при температуре изделия 1260 - 1400 С и температуре расплава 1430 - 1700С и выдерживают, а охлаждения ведут при осевом градиенте температуры в изделии 25-60 См-1 . Устройство для пропитки кремнием полых изделий включает герметичную камеру, установленные в ней цилиндрический резистивный нагреватель, тигель, питатель. Питатель выполнен из материала с капиллярной структурой. Устройство также содержит подставку и экран. Последний выполнен переменной толщины b по высоте, определяемой по зависимости представленной в формуле изобретения. 2 с. п. ф - лы, 1 ил. , 1 табл.