Патент №2008652 - Способ определения эллипсометрических параметров объекта

Использование: эллипсометрия. Сущность изобретения: способ включает в себя отщепление известной опорной части от пучка излучения поляризованных электромагнитных волн до взаимодействия его с излучаемым объектом, последующее разделение отщепленной опорной части непосредственно и оставшейся информационной части пучка излучения после взаимодействия ее с объектом на четыре опорных и соответственно информационных пучка с различными идентичными для соответственных опорных и информационных пучков типами поляризации, одновременные измерения интенсивностей упомянутых пучков и определение in situ по их совместным соотношениям трех эллипсометрических параметров (модулей и сдвига фаз для коэффициентов отражения от объекта компонент излучения с ортогональными линейными р- и s-поляризациями) излучаемого объекта. Отщепление известной опорной части от пучка излучения до его взаимодействия с объектом осуществляют с обеспечением в ходе процесса постоянства в соотношениях между амплитудами и соответственно фазами для компонент излучения в упомянутых опорной и информационной частях пучка излучения до его взаимодействия с излучаемым объектом. 3 з. п. ф-лы, 1 ил.