Патент №2019577 - Устройство для загрузки в испаритель испаряемых веществ материалов

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в технологии получения тонких слоев различных материалов методом термического испарения в вакууме. Устройство содержит расположенный на механизме транспортировки закрытый крышкой тигель, в котором размещена порция загружаемого вещества. С внешней стороны тигля размещен нагреватель, в дне тигля выполнено по крайней мере одно отверстие, которое в момент загрузки расплава из тигля в испаритель расположено над приемным отверстием испарителя. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Патент №2019577, изображение 1
Патент №2019577, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/00Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие