Патент №2039134 - Способ травления монокристаллов метаниобата лития

Изобретение относится к способу гидротермального травления, обеспечивающему возможность создания экологически чистой методики травления монокристаллов метаниобата лития, используемых в электронной технике. Достигнута возможность травления больших монокристаллов более 2 10 10 мм/ кристаллы при травлении не растрескиваются/, а также отпадает необходимость употребления дорогостоящих неактивных температуроустойчивых материалов, таких, как платина, иридий, позволяющих удешевить процесс и повысить скорость травления. Сущность способа состоит в обработке монокристаллов метаниобата лития в гидротермальных условиях при температуре 150 300°С и давлении не менее 50 атм, а в качестве травильного раствора используются водные растворы смеси одной из кислот H3PO4, HNO3 и одной из солей MeNO3, MeF, MeHF2, MeHPO4, MeH2PO4, где Ме щелочной металл, или водные растворы одной из солей MeH2PO4, Me2HPO4, MeHF2, где Ме щелочной металл, или водные растворы смеси щелочей МеОН и соли MeNO3, где Ме щелочной металл, или попарно смешанных водных растворов солей MeNO3, MeH2PO4, MeHF2, МеF.