Патент №2044719 - Способ металлизации заготовок пьезокерамических элементов

Использование:металлизация обожженных пьезокерамических заготовок. Задача изобретения: повышение прочности сцепления металла с керамикой и снижение трудоемкости процесса металлизации без ухудшения пьезоэлектрических характеристик пьезоэлементов. Сущность изобретения: металлизацию заготовок пьезоэлементов осуществляют путем активирования поверхности очисткой в плазме ВЧ-разряда в среде аргона и нанесения многослойного металлизационного покрытия путем вакуумного напыления адгезионного подслоя Ti с последующим напылением на него слоя основного электрода из Cu и защитного слоя Ni, причем очистку выполняют в едином цикле с напылением слоев металлизационного покрытия. Положительный эффект: повышение производительности в 1,5-2 раза, выхода годных на 6-8% и исключение применения драгоценных металлов. 1 табл.