Патент №2046836 - Способ локализации области перемещения катодных пятен вакуумной дуги на поверхности испарения протяженного катода
Использование: в области вакуумно-плазменного нанесения покрытий, преимущественно в машиностроении при нанесении покрытий заданного профиля на изделия. Сущность изобретения: на поверхности 2 испарения катода 1 с помощью системы поджига возбуждают вакуумную дугу и создают в межэлектродном пространстве над областью преимущественно необходимой локализации перемещений катодных пятен зоны с минимальным межэлектродным напряжением горения дуги. Причем при возбуждении вакуумной дуги на поверхности 2 испарения катода 1 формируют по меньшей мере два катодных пятна посредством подбора необходимой величины тока дуги. Это обеспечивает надежное удержание (локализацию) катодных пятен при наличии двух и более катодных пятен на поверхности испарения катода и управление перемещением области катодных пятен в процессе работы. 2 з. п. ф-лы, 1 табл. 2 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК C23C 14/00 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие |