Патент №2055418 - Способ изготовления тест-рентгеношаблонов

Использование: микроэлектроника, разработка и изготовление тест-рентгеношаблонов для производства интегральных схем и некоторых микроэлектронных приборов. Сущность изобретения: для получения субмикронной структуры порядка 0,15 - 0,25 мкм в способе изготовления тест-рентгеношаблонов из стеклянных элементов путем сборки, перетяжки, резки и химического травления укладку производят счетно рядами по строгой топологии стержнями, формируя перегородки и обрамление. Отверстия и щели, вторую, третью, ..., n-ую перетяжку предварительно уложенного пакета осуществляют, укладывая в центре заготовку, полученную предыдущей вытяжкой, а по периметру - стержни обрамления, причем перегородки и обрамление формируют стержнями основного стекла, отверстия и щели - стержнями растворимого стекла, которое затем удаляют известными методами. 1 ил.