Патент №2058427 - Вакуумная установка для нанесения покрытий

Сущность изобретения заключается в том, что вакуумная установка содержит вертикальную камеру с диаметром D и высотой H, неподвижные источники напыления, по меньшей мере, один из которых расположен на торцовой поверхности камеры со стороны загрузки изделий, а другие - на ее цилиндрической поверхности, механизм вращения изделий с элементами их крепления, источники электропитания, системы подачи рабочего и реакционного газов и создания вакуума. Механизм вращения изделия выполнен с возможностью возвратно-поступательного движения по вертикальной оси камеры, а крепежные элементы выполнены с возможностью вращения относительно своей оси через привод вращения, закрепленный на внутреней цилиндрической поверхности камеры, в качестве неподвижных источников используют магнетрон и/или электродуговой испаритель, имеющий форму диска диаметра d или форму трубки длиной l. Вакуумная установка позволяет наносить равномерные и разнотолщинные покрытия на изделия сложной формы при снижении собственных и эксплуатационных стоимостных издержек. 4 з.п. ф-лы, 7 ил.