Патент №2061534 - Способ изготовления мембранных сит

Способ изготовления мембранных сит включает операции локального облучения пленки или пластины потоками высокоэнергетических частиц(квантов излучения, электронов или ионов)и последующего травления. Пленку или пластину перец облучением покрывают резистом в виде пространственно разделенных островков, а после облучения обрабатывают травителем, образующим отверстия в резисте и не воздействующим на пленку или пластину. Систему подвергают усадке и сквозь отверстия в резисте вытравливают в пленке сквозные поры травителем, не воздействующим на резист. Усадку можно производить перед травлением резиста, а пленку или пластину перед травлением можно дополнительно облучать потоками высокоэнергетических частиц сквозь отверстия в резисте. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.