Патент №2061788 - Способ нанесения покрытий в вакууме

Использование: способ используется для нанесения износостойких покрытий на различные изделия в области машиностроения. Сущность изобретения: изделия помещают в камеру, где создают поток высокоэнергетических нейтральных частиц и обрабатывают ими изделия последовательно с энергией частиц 2,5-3,0 кэВ в течение 1-2 мин, с энергией 1,5-2,0 кэВ в течение 1-2 мин, с энергией 700-800 эВ в течение 2/3 мин, затем к изделиям прикладывают напряжение смещения, зажигают дуговой разряд для испарения катода с целью нагрева и очистки изделий, после чего, подав газ - реагент и снизив напряжение смещения, формируют покрытие, после этого снимают напряжение смещения и вновь обрабатывают изделия частицами с энергией 700-800 эВ в течение 2-3 мин, с энергией 1,1-1,5 кэВ в течение 1-2 мин, с энергией 2,0-2,5 кэВ в течение 1-2 мин. После этого прекращают подачу газареагента и изделия охлаждают. 1 табл.