Патент №2111281 - Способ формирования поверхностных сплавов
Изобретение относится к методам модификации поверхностных слоев материалов, в частности к способам формирования поверхностных сплавов с помощью концентрированных потоков энергии (КВЭ). Сущность изобретения: в испарении мишени с помощью импульсного КПЭ и одновременном воздействии этого же потока на подложку, на которой формируется сплав. При этом мишень размещают между источником КПЭ и подложкой, а в качестве концентрированного потока энергии используют импульсный электронный пучок, транспортируемый в ведущем магнитном поле с максимальной энергией электронов 10 - 100 кэВ и током I, причем I > Iп, где Iп - значение тока Пирса в области между мишенью и подложкой. 3 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК C23C 14/00 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие |