Патент №2112076 - Способ нанесения проводящего прозрачного покрытия

Изобретение может быть использовано для получения прозрачных электродов и прозрачных электронагревательных элементов. Способ нанесения прозрачного проводящего покрытия включает реактивное магнетронное распыление и осаждение металлического индия с добавлением олова в атмосфере газовой смеси инертного газа и кислорода при одновременной ионной стимуляции процесса осаждения. Способ позволяет получать покрытия без предварительного нагрева, что значительно сокращает время нанесения покрытия.