Патент №2116378 - Способ модификации поверхностных слоев деталей из сплавов на основе титана

Сущность изобретения заключается в том, что для очистки используют ионы инертных газов аргона и ксенона, обработку осуществляют с энергией 250 - 350 эВ, плотностью тока 3 - 10 мА/см2, в течение времени более 3000 с, затем проводят ионное легирование азотом с энергией 30 - 50 кэВ, плотностью ионного тока 30 - 60 мкА/см2 в течение 500 - 2500 с в сочетании с вакуумным отжигом при температуре 450 - 550oC и давлении остаточных газов 10-3-510-3 Па в течение 2 - 2,5 ч. 1 табл.

Патент №2116378, изображение 1
Патент №2116378, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/00Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие