Патент №2193769 - Способ измерения характеристик приповерхностного магнитного поля с использованием сканирующего зондового микроскопа

Способ включает использование магниточувствительного проводящего зонда. При первом сканировании возбуждают колебания зонда на первой частоте и сближают его с поверхностью образца до достижения амплитуды его колебаний предустановленного значения и поддерживают системой обратной связи амплитуду колебаний зонда путем взаимного относительного вертикального позиционирования зонда и поверхности образца. Запоминают сигнал относительного вертикального позиционирования в каждой точке сканирования. Прекращают колебательное механическое воздействие на зонд и осуществляют второе сканирование, при этом колебания возбуждают за счет приложения на зонд и образец разности потенциалов, содержащей постоянную и переменную во времени составляющие. Постоянную составляющую выбирают такой величины, чтобы свести к минимуму амплитуду колебаний на первой гармонике второй частоты, и запоминают эту величину. Второе сканирование проводят с использованием запомненного сигнала относительного вертикального позиционирования. Затем проводят дополнительное сканирование с использованием запомненного сигнала относительного вертикального позиционирования и одновременно прикладывают постоянную составляющую разности потенциалов такой величины, которая была запомнена на предыдущем сканировании, а переменную составляющую выбирают равной нулю, обеспечивая компенсацию поверхностного электрического потенциала. Затем регистрируют отклонение зонда в этих точках сканирования, получая характеристики магнитного поля. Обеспечиваются исключение влияния фазовой неоднородности поверхности и повышение точности измерений. 5 з.п.ф-лы, 2 ил.