Патент №2198957 - Способ изготовления микроканальной пластины

Изобретение относится к технологии изготовления микроканальных пластин (МКП) с повышенными коэффициентом усиления, отношением сигнал/шум, разрешающей способностью и может быть использовано в производстве МКП. Изобретение направлено на повышение эффективности первого соударения электронов со стенками каналов, увеличение прозрачности входа, уменьшение разброса по глубине первого соударения, исключение эллипсности электронного потока на выходе каналов. Способ включает расположение испарителя под углом к заготовке МКП и напыление входного контактного электрода, которое осуществляют из направленного испарителя, относительно которого вращают заготовку МКП, остающуюся неподвижной относительно своей оси. Заготовку МКП изготавливают с каналами, перпендикулярными ее торцевой поверхности. Угол наклона испарителя к торцевой поверхности заготовки устанавливают таким образом, чтобы глубина контактного электрода внутри каналов МКП составила 1,5-2,5 диаметра канала. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.