Патент №2204870 - Способ изготовления плоских пленочных магнитов

Изобретение относится к области электротехнике, а точнее к способам изготовления пленочных магнитов. Техническим результатом изобретения является увеличение коэрцитивной силы пленочных магнитов и увеличение остаточной намагниченности за счет магнитно-кристаллической текстуры. Указанный технический результат достигается за счет того, что в способе изготовления плоских пленочных магнитов из сплава Nd-Fe-B проводят интенсивное напыление на нагретую подложку и перевод пленочных магнитов из аморфного в кристаллическое состояние с помощью термической обработки. Отличие способа заключается в том, что плоские пленочные магниты переводят в кристаллическое состояние коротким отжигом при температурах, близких к начальной температуре кристаллизации основной магнитной фазы. Отжиг проводится в течение времени, при котором формируется мелкозернистая однодоменная структура пленочного магнита с магнитно-кристаллической текстурой, перпендикулярной плоскости пленочного магнита, при этом оптимальное время короткого отжига составляет менее одной минуты, а температура от 520 до 550oС. 2 з.п. ф-лы.