Патент №2233899 - Высокочистый тантал и содержащие его изделия, подобные мишеням для распыления

Предложены высокочистые металлический тантал и содержащие его сплавы. Металлический тантал предпочтительно имеет чистоту по меньшей мере 9,995% и более предпочтительно по меньшей мере 99,999%. Также предложены металлический тантал и его сплавы, которые или имеют размер зерна около 50 мкм или менее, или текстуру, в которой (100) полюсная фигура имеет интенсивность центрального пика ниже, чем примерно 15 рандом, или логарифм отношения интенсивностей (111):(100) центрального пика больше, чем примерно 4,0, или любое сочетание этих свойств. Кроме того, предложены изделия и составляющие, изготовленные из металлического тантала, которые включают, но не ограничиваются этим, мишени для напыления, конденсаторные емкости, резистивные пленочные слои, проволоку и т.п. Предложен также способ изготовления высокочистого тантала, который включает стадию взаимодействия соли, содержащей тантал с по меньшей мере одним соединением, способным восстанавливать данную соль до танталового порошка и второй соли в реакционном сосуде. Реакционный сосуд или футеровка реакционного сосуда и мешалка или футеровка мешалки изготовлены из металлического материала, имеющего такое же или более высокое давление пара, как расплавленный тантал. Техническим результатом является получение высокочистого тантала с мелкой и однородной микроструктурой. 23 н. и 179 з.п. ф-лы, 11 ил., 15 табл.