Патент №2258276 - Пьезоэлектрический датчик и способ его изготовления

Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к области электрических измерений параметров импульсных механических нагрузок в виброакустике и физике взрыва. Сущность: пьезоэлектрический датчик содержит две идентичные, диэлектрические пластины из сегнетоэлектрической пьезопленки. Каждая пластина содержит отдельную поляризованную область с электродами на ее противоположных поверхностях, которая служит чувствительным элементом датчика. Вектор поляризации пластин перпендикулярен электродам. Измерительные токовыводы в виде плоскопараллельных полосок нанесены на противоположные поверхности пьезопленки и электрически соединены с электродами. Обе пластины соединены поверхностями с однополярными электродами симметрично друг другу. Образовавшиеся таким образом внешние и внутренние измерительные токовыводы соединены электрически попарно соответственно, а их поперечные размеры выбраны из соотношения >w+2b, где - ширина внешних токовыводов; w - ширина внутренних токовыводов; b - расстояние между внешними токовыводами. Способ изготовления пьезоэлектрического датчика заключается в формировании чувствительного элемента датчика путем выделения заданной области диэлектрической пластины из сегнетоэлектрической пьезопленки, расположении электродов на ее противоположных поверхностях, электрической поляризации выделенной области и в нанесении на противоположные поверхности пластины измерительных токовыводов в виде плоскопараллельных полосок, электрически соединенных с электродами. Соединяют две идентичным образом выполненные пластины поверхностями с однополярными электродами симметрично друг другу. Измерительные токовыводы на каждой пластине формируют путем увеличения площади соответствующих электродов. Образовавшиеся таким образом внешние и внутренние измерительные токовыводы соединяют электрически попарно соответственно. Технический результат: повышение качества изготовления пьезоэлектрического датчика, уменьшение количества бракованных изделий, повышение помехозащищенности от электромагнитных наводок, расширение области применения. 2 н.п. ф-лы, 4 ил.