Патент №2279735 - Полупроводниковый прибор с самозащитой от перенапряжений

Изобретение относится к конструкции полупроводниковых приборов с самозащитой от пробоя при перенапряжениях в закрытом состоянии, а именно к конструкции динисторов и тиристоров, в том числе симметричных. Техническим результатом изобретения является снижение относительного разброса значений напряжения переключения прибора U ВО, упрощение технологии его изготовления, повышение процента выхода годных приборов. Сущность изобретения: полупроводниковый прибор с самозащитой от перенапряжений выполнен на основе кремниевой пластины n-типа электропроводности с двумя главными поверхностями, расположенными на противоположных сторонах пластины. Прибор содержит со стороны первой главной поверхности эмиттерный n-слой, диффузионный базовый р-слой с вытравленной ямкой, образующий коллекторный р-n-переход в исходной кремниевой пластине и имеющий участок с высоким градиентом концентрации акцепторной примеси, расположенный под вытравленной ямкой, эмиттерный р-слой, сформированный со стороны второй главной поверхности пластины, электроды анода, катода и управляющий электрод. Диффузионный базовый р-слой содержит под вытравленной ямкой акцепторную примесь первого типа, вне ямки - акцепторные примеси как первого, так и второго типа, имеющие разные коэффициенты диффузии, а глубина h [мкм] вытравленной ямки удовлетворяет условию 1,1 h/(хj2-хj1) 0,8, где хji и хj2 [мкм] - глубина диффузии акцепторных примесей первого и второго типов, соответственно. 4 ил., 1 табл.