Патент №2306625 - Способ стабилизации и подгонки тонкопленочных резисторов и устройство для его осуществления

Изобретение относится к технологии изготовления резисторов, в частности к стабилизации и подгонке тонкопленочных резисторов, и может быть использовано при производстве металлопленочных тензорезисторных датчиков давления, силы, деформации и гибридных интегральных схем в радиотехнической и приборостроительной промышленности. Способ стабилизации и подгонки тонкопленочных резисторов импульсами напряжения определенной амплитуды, длительности и скважности включает стабилизацию и подгонку в едином технологическом цикле при неизменной амплитуде, длительности и скважности импульсов напряжения. Стабилизацию проводят "пакетами" импульсов напряжения до нижнего не изменяющегося значения сопротивления, которое фиксируют контрольным "пакетом" импульсов напряжения, после чего осуществляют подгонку сопротивлений резисторов подачей на них "пакетов" импульсов напряжения, в которых количество импульсов увеличивают в несколько раз, а в промежутках между "пакетами" импульсов непрерывно контролируют изменение сопротивлений резисторов. Устройство для реализации указанного способа содержит источник питания постоянного тока, релейный блок управления устройством, формирователь импульсов с элементом, регулирующим амплитуду импульсов напряжения и блок управления измерением и структурированием, который содержит счетчик количества импульсов, переключатель диапазонов, счетчик времени индикации, логические элементы "ИЛИ-НЕ", "ИЛИ" и триггер, а также ключевую схему. Изобретение позволяет расширить функциональные возможности и проводить стабилизацию структуры резистивного слоя за счет исключения скрытых дефектов и подгонку тонкопленочных резисторов в одном технологическом цикле при неизменной амплитуде, длительности и скважности импульсов напряжения с постоянным контролем изменения величины сопротивления резисторов, а также упростить конструкцию устройства для осуществления процесса. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил.