Патент №2310012 - Нестехиометрическая керамическая мишень из nio x

Изобретение относится к керамической мишени, которая предназначена для применения при осаждении пленок в распылительных установках, в частности, при магнетронном распылении. Предложена керамическая мишень на основе оксида никеля NiOx, в котором содержится меньше кислорода, чем в оксиде никеля, соответствующем стехиометрическому составу. Данную керамическую мишень используют для получения тонкого слоя на основе оксида никеля. Электрохимическое устройство содержит, по меньшей мере, одну подложку, на которой сформирован блок функциональных слоев, содержащий, по меньшей мере, один электрохимически активный слой. Электрохимически активный слой способен обратимо и одновременно включать в себя ионы H +, Li+ или ОН- и электроны, при этом слой может быть легирован элементом, оксид которого является электроактивным веществом при анодном окрашивании, выбранным из Со, Ir, Ru и Rh или смеси этих элементов. Слой может быть легирован элементом, оксид которого является электроактивным веществом при катодном окрашивании, выбранным из Мо, W, Re, Sn, In и Bi или смеси указанных элементов. Слой может быть легирован элементом, выбранным из элементов первой группы Периодической таблицы элементов, в частности выбранным из H, Li, К и Na или смеси указанных элементов; или выбранным из Та, Zn, Zr, Al, Si, Sb, U, Be, Mg, Ca, V и Y или смеси этих элементов. Заявленная мишень позволяет изготавливать электрохимические устройства с возможностью регулирования параметров осаждаемой пленки, в частности ее светопропускание. 9 н. и 14 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл. x, патент № 2310012" SRC="/images/patents/157/2310012/2310012-s2.gif" BORDER="0">