Патент №2315820 - Способ получения многослойных магнитных пленок

Изобретение относится к области вакуумного напыления тонких пленок и может быть использовано в системах магнитной записи, датчиках, основанных на магниторезистивном эффекте. Проводят послойное напыление магнитного сплава Fe-Ni и SiO 2 в вакууме при приложении в плоскости осаждения внешнего магнитного поля и нагреве подложки с последующим отжигом всей структуры. Скорость напыления магнитного сплава Fe-Ni изменяют от слоя к слою в течение одного цикла напыления. Техническим результатом изобретения является получение многослойных пленок с различными магнитными свойствами. 6 ил.