Патент №2319182 - Мезо-микроэлектромеханическая система, имеющая стеклянный элемент и способ ее изготовления

Мезо-электромеханическая система (900, 1100) включает в себя подложку (215), опорный элемент (405, 1160), расположенный на поверхности подложки, первую электростатическую конфигурацию (205, 1105, 1110, 1115, 1120), расположенную на поверхности подложки, и стеклянный элемент (810). Стеклянный элемент (810) имеет закрепленную область (820), прикрепленную к опорному элементу, и имеет вторую электростатическую конфигурацию (815, 1205, 1210, 1215, 1220) на консольном местоположении стеклянного элемента. Вторая электростатическая конфигурация по существу имеет одинаковое протяжение и параллельна первой электростатической конфигурации. Вторая электростатическая конфигурация отделена свободным интервалом (925) от первой электростатической конфигурации, когда первая и вторая электростатические конфигурации находятся в состоянии отсутствия возбуждения. В некоторых вариантах осуществления сформировано зеркало с помощью электростатических материалов, которые формируют вторую электростатическую конфигурацию. Стеклянный элемент может быть сконфигурирован с использованием очистки пескоструйным аппаратом (140). 3 н. и 7 з.п. ф-лы, 13 ил.