Патент №2341299 - Полая наноигла в интегральном исполнении и способ ее изготовления

Изобретение относится к нанотехнологии и предназначено для создания наноустройств, используемых на клеточном уровне, в медицине, биохимии, цитологии и т.п. Изобретение позволяет повысить технологичность и расширить функциональный диапазон изделий. Сущность изобретения: в полой наноигле в интегральном исполнении трубка связана с кристаллом-подложкой посредством изогнутого пленочного элемента и жестко закреплена. Трубку и изогнутый пленочный элемент изготавливают из пленочной структуры с механически напряженными слоями, выращенной на кристалле-подложке в виде псевдоморфных монокристаллических пленок веществ с различными периодами кристаллической решетки в свободном состоянии. Формируют контур освобождаемой области пленочной структуры от связи с кристаллом-подложкой. Освобождаемая область содержит участки, предназначенные для формирования трубки и изогнутого пленочного элемента. Геометрия участков, внутренние механические напряжения и толщины слоев прецизионно задают позиционирование трубки и ее диаметр. Направленным травлением материала под освобождаемыми механически напряженными слоями отделяют первый участок от кристалла-подложки, трансформируя его за счет напряжений в трубку, а затем второй участок, изгибающийся за счет напряжений и обеспечивающий позиционирование трубки. Для жесткой связи выполняют закрепляющий элемент.2 н. и 15 з.п. ф-лы, 9 ил.