Патент №2343590 - Способ изготовления матричного фотоприемника
Способ согласно изобретению включает следующие операции. На полупроводниковой пластине, имеющей первую легированную и вторую стороны, на первой легированной стороне выделяют фоточувствительные элементы при помощи нанесения диэлектриков, металлизации и фотолитографии. Осуществляют промежуточное приклеивание первой стороны полупроводниковой пластины к промежуточной подложке промежуточным клеем-расплавом. Проводят химико-механическое утоньшение и анодное оксидирование второй стороны полупроводниковой пластины. Приклеивают вторую сторону стационарным полимерным клеем к несущей подложке. Удаляют промежуточную подложку вместе с промежуточным клеем с поверхности пластины и разделяют пластину вместе с несущей подложкой на отдельные матрицы. Настоящее изобретение решает задачу упрощения и снижения веса аппаратуры ИК-комплекса в целом. 7 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК H01L 31/18 | Полупроводниковые приборы, чувствительные к инфракрасному излучению, свету, электромагнитному, коротковолновому или корпускулярному излучению, специально предназначенные либо для преобразования энергии такого излучения в электрическую энергию, либо для управления электрической энергией с помощью такого излучения; способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов или их частей; конструктивные элементы приборов - способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки таких приборов или их частейдля изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей вообще 21/00 |