Патент №2361014 - Способ вакуумно-дугового нанесения покрытий

Изобретение относится к способу вакуумно-дугового нанесения покрытий и может быть использовано для получения газопоглотительных покрытий. Способ включает формирование потока металлической плазмы из катодных пятен вакуумно-дугового разряда. Нанесение покрытий проводят при постоянной начальной температуре катода для каждой последующей обрабатываемой партии деталей. Для этого периодически изменяют диаметр канавки, расположенной в теле катода со стороны системы охлаждения, в соответствии с выражением ,где D1 - диаметр канавки, м; DK - диаметр катода, м; µ - коэффициент электропереноса, кг/Кл; Iразр - величина разрядного тока, А; - плотность материала катода, кг/м3; S K - площадь торцевой (рабочей) поверхности катода, м 2; L1 - ширина канавки, м; t - полное время наработки катода, затраченное на все предыдущие партии обрабатываемых деталей, с. В результате получают плазменный поток с постоянным составом генерируемой капельной фазы, обеспечивающий воспроизводимость результатов свойств, формируемых покрытий, и повышение качества покрытия. Кроме этого метод перспективен при получении антиэмиссионных покрытий на сеточных электродах мощных генераторных ламп. 1 ил.

Патент №2361014, изображение 1
Патент №2361014, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/40Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - с помощью разряда переменного тока, например высокочастотного разряда