Патент №2401882 - Узел катода магнетронного распылителя

Изобретение относится к узлу катода магнетронного распылителя и может быть использовано в машиностроении при изготовлении деталей с покрытием, например упрочняющих покрытий для режущего инструмента. Узел катода магнетронного распылителя содержит катод мишень (1), центральный магнит (2), систему периферийных магнитов (3), систему охлаждения (4), основание из магнитного материала (5) и металлический экран (6), который установлен ниже поверхности катода мишени. Катод мишень (1), основание из магнитного материала (5) и кольцо (7) с уплотнительными элементами (8) соединены между собой верхним (9) и нижним (10) фланцами, выполненными в виде струбцины. Между системой охлаждения (4) и основанием из магнитного материала (5) установлена не магнитная вставка (11). В результате предотвращается запыление участка катод мишень - анод, и повышается качество напыления. 1 ил.