Патент №2410732 - Термостабильное многослойное зеркало для крайнего ультрафиолетового спектрального диапазона

Изобретение относится к термостабильному многослойному зеркалу для крайнего (коротковолнового) ультрафиолетового (УФ) спектрального диапазона и может быть использовано в качестве нагреваемого коллекторного зеркала источника излучения крайнего УФ-диапазона. Многослойное зеркало для отражения излучения крайнего УФ-диапазона содержит множество чередующихся слоев молибдена и слоев кремния. На множестве граничных плоскостей между слоями молибдена и слоями кремния расположены, соответственно, барьерные слои, которые содержат нитрид кремния или борид кремния. Технический результат - повышение термостабильности, в частности стабильности при температурах более 300°С, при высокой отражательной способности многослойного зеркала. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 7 ил.