Патент №2417379 - Резонансное ближнеполевое устройство для свч микроскопа

Изобретение относится к области радиотехники и электроники и может быть использовано для измерения электрофизических параметров материалов. Устройство представляет собой прямоугольным волновод с подключенным к нему СВЧ генератором и измерительным устройство. Устройство содержит индуктивную диафрагму 2, установленную в волноводе 1 перпендикулярно широкой стенке волновода. На расстоянии /10 ( - длина волны основного типа) установлена емкостная диафрагма 3, плоскость включения которой параллельна плоскости включения индуктивной диафрагмы. В пространстве между диафрагмами установлены в одной плоскости, перпендикулярно широкой стенке волновода и параллельно узкой стенке, два прямоугольных металлических выступа 4, 5, один из которых закреплен на верхней половине емкостей диафрагмы, второй на нижней половине емкостной диафрагмы. Выступ 4 имеет гальванический контакт с верхней половиной емкостной диафрагмы 5. Расстояние между краями выступов и плоскостью индуктивной диафрагмы составляет ~ /100. Расстояние между краями выступов и плоскостью индуктивной диафрагмы выбрано из условия возникновения резонанса с малым коэффициентом отражения. Технический результат заключается в обеспечении возможности разрешения встречно-штыревых гребенчатых структур с периодом порядка 20 микрометров и менее. 3 ил.