Патент №2432634 - Многослойный нанокомпозит для конденсаторов и способ его изготовления

Изобретение относится к нанослойным структурам типа металл-диэлектрик-металл для микроэлектроники. Техническим результатом изобретения является создание многослойного нанокомпозита для конденсаторов с большой удельной энергоемкостью. Согласно изобретению многослойный нанокомпозит для конденсаторов содержит подложку из графитовой фольги плотностью от 0,27 до 1,2 г/см3 , на лицевой поверхности которой последовательно расположены слой аморфного оксида алюминия, слой оксида титана модификации рутил и слой нитрида титана, сформированные методом атомно-слоевого осаждения. При этом нанесение слоя оксида алюминия ведут при температуре 270-330°С путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров: гриметилалюминия и озона. Нанесение слоя диоксида титана ведут при температуре 450-500°С путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров: четыреххлористого титана и воды, а нанесение слоя нитрида титана ведут при температуре 460-490°С путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров, в качестве которых используются четыреххлористый титан и аммиак. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.