Патент №2447411 - Способ измерения температуры, термоэлектронномеханический преобразователь с автоэлектронной эмиссией и способ его изготовления

Изобретения относятся к области измерительной техники, в частности к средствам измерения температуры и тепловых излучений, а также к инфракрасным детекторам, и могут найти применение, в том числе в инфракрасных камерах. Техническое решение заключается в том, что определяют изменения параметров термочувствительного элемента в зависимости от изменения температуры и определяют текущее значение температуры по величине указанных параметров. В качестве термочувствительного элемента используют биморфный элемент, размещенный в электрическом поле, а о текущем значении температуры судят по изменению тока эмиссии в зависимости от механической деформации биморфного элемента от температуры. В качестве биморфного элемента используют преобразователь, первый слой выполнен из окисла ванадия, а второй - из вольфрама. Термоэлектронномеханический преобразователь с автоэлектронной эмиссией содержит один чувствительный элемент с одной полупроводниковой структурой и электронную схему. Чувствительный элемент размещен на основании преобразователя с зазором относительно токопроводящей площадки, на поверхности которой сформирован, по меньшей мере, один вискер. В биморфном элементе выполнены отверстия. Два и более биморфных элемента объединены в матричную структуру на общем кристалле. Электронная схема содержит электронные ключи и мультиплексоры опроса строк и столбцов, связанные с общим видеовыходом. Технический результат заключается в увеличении диапазона измерений от 2 до 500 мкм тепловых излучений и увеличении точности измерений температуры (спектральной плотности шума нулевого сигнала). 3 н. и 4 з.п ф-лы, 9 ил.