Патент №2449294 - Способ определения формы и размеров острия иглы зондового микроскопа

Изобретение относится к нанотехнологиям, электронике, приборостроению и может использоваться для работы с зондовым микроскопом. Согласно способу, проводят сканирование калибровочной поверхности. Определяют форму и размеры конца иглы с использованием модели взаимодействия иглы с калибровочной поверхностью. В качестве калибровочной поверхности используют поверхность, которая содержит элементы всех размеров, которые могут быть зарегистрированы зондовым микроскопом с исследуемой иглой. При сканировании записывают параметры работы микроскопа, которые характеризуют физические условия взаимодействия иглы с поверхностью. Формируют набор моделей формы острия иглы, для каждой из которой строят модель рельефа с учетом физических условий взаимодействия иглы и поверхности. В качестве формы и размеров острия исследуемой иглы выбирают ту форму и размеры острия той модели, для которой в наибольшей степени наблюдается соответствие упомянутым физическим условиям процесса сканирования. Заявленный способ позволяет измерять форму и размеры острия иглы, нанометровой величины, например, для игл, которые используются в туннельном микроскопе. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.