Патент №2450850 - Способ очистки отходящих газов от силана
Изобретение относится к способам очистки отходящих газов от содержащегося в них силана SiH4. Способ включает взаимодействие силана с кислородом воздуха с образованием твердого диоксида кремния, с последующим отделением диоксида кремния фильтрацией. При этом отходящие газы, содержащие силан, смешивают с воздухом и подают на взаимодействие в реактор типа "туннельная горелка", снабженный рубашкой с теплоносителем. Время пребывания газа в реакторе от 1 до 10 сек, объемное соотношение силан:кислород от 1:2 до 1:10. Обеспечивается очистка отходящих газов от силана до его содержания не более 0,001 об.%, простота в аппаратурном оформлении и возможность обработки газа, содержащего силан в широком диапазоне концентраций. 2 з.п. ф-лы, 2 ил., 3 табл., 3 пр.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК B01D 53/34 | Разделение газов или паров; извлечение паров летучих растворителей из газов; химическая или биологическая очистка отходящих газов, например выхлопных газов, дыма, копоти, дымовых газов, аэрозолей - химическая или биологическая очистка отходящих газов |
МПК C01B 33/04 | Кремний; его соединения - кремневодородные соединения |
МПК C01B 33/12 | Кремний; его соединения - диоксид кремния; его гидраты, например чешуйчатая кремниевая кислота |