Патент №2452079 - Способ настройки резонатора на поверхностных акустических волнах

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств (фильтры, резонаторы, линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ)), которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах, телекоммуникации. Технический результат заключается в увеличении выхода годных за счет уменьшения разброса частот в партии резонаторов, в увеличении стабильности резонаторов на ПАВ, в увеличении производительности процесса за счет поштучной обработки нескольких одновременно вакуумируемых резонаторов методом реактивного ионно-лучевого травления (РИЛТ) в газовом разряде предельного фторуглерода. В качестве предельного фторуглерода используется или тетрафторметан (CF4), или октафторпропан (C3F8), или октафторциклобутан (С4А8), или октафторциклобутан (G10 F18). 1 табл.